에이피티씨가 SK하이닉스와 공급계약을 체결했다. 출처/에이피티씨
18일 금융감독원 전자공시시스템에 따르면 에이피티씨는 SK하이닉스와 180억원 규모의 반도체 제조장비 공급 계약을 체결했다. 계약 기간은 오는 31일까지로, 규모는 에이피티씨의 2019년 연간 매출액 593억2613만원 대비 30.34% 비중을 차지한다.
에이피티씨 관계자는 <IB토마토>에 “세부적으로 어떤 장비를 공급할 것인지 관련해선 말해드릴 수 없다”라고 전했다.
에이피티씨는 반도체 제조공정 중 식각공정에 필요한 장비를 제조, 판매하는 사업을 영위하고 있다. 매출액, 영업이익은 작년 3분기 누적 기준 각각 560억원, 162억원으로, 전년 동기 대비 모두 19%가량 늘었다.
회사가 보유 중인 플라즈마(원자나 분자 이외에 양이온과 음이온, 전자가 뒤섞여 존재하는, 전기적으로는 중성인 상태) 소스는 현재 200㎜, 300㎜ 웨이퍼용 반도체 건식 식각장비의 원천기술로 적용돼 성능, 가격경쟁력에서 우위를 점해 외산 장비를 대체하고 있다.
이 원천 기술은 반도체 제조공정인 화학기상증착(CVD) 장비, 원자층 박막증착(ALD) 장비, 원자층식각(ALE) 장비 등 다양한 플라즈마 공정장비에 적용되기도 한다.
주력 제품인 300㎜ 실리콘 식각장비(Poly Etcher)는 SK하이닉스에 다량 납품되면서 현재 반도체 식각 공정에 사용 중이다.
김성현 기자 shkim@etomato.com